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潔凈管道規(guī)范應考慮以下方面:
1.材質選擇:應使用無毒、耐腐蝕的材料,如不銹鋼或銅等。塑料材料是不適宜的,因為它們可能釋放有毒物質并污染所輸送的氣體。
2.管徑與距離:對于較小的管路(例如直徑為50-8MM),不宜超過3米;對于較大的管子(例如內孔半徑R=4mm),長度不應大于6m~7m。這是因為越長的導管可能會帶來更多的污染物問題如果必須更長則需要增大接頭和/或其他保護措施.在任何情況下,所有引入到房間內的氣體都應有防護涂層以減少可能的化學影響.。
3.壓力控制:壓力應該得到良好的控制系統(tǒng)并且應當保持盡可能低的水平,這有助于防止顆粒泄漏或者不慎操作導致的塵埃進入系統(tǒng)以及確保產(chǎn)品能達到預設位置而不發(fā)生堵塞,在清潔室環(huán)境中尤其重要。
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